全自動多晶硅還原鐘罩清洗設備

生產多晶硅的還原爐爐筒，因為粘附在內壁的物料和污物，需要清洗和烘干。根據我公司已經實際制造清洗和烘干還原爐鐘罩成熟的經驗，推薦如下清洗和烘干工藝及設備。

一、主要設備

1、高壓水清洗泵組：

（1）工作壓力：100-300bar ，可調范圍為20-300bar

最大流量：50-200L/min（要求設備供水量不小于100-50L/min）；

耐酸堿、最大進水溫度：85°C。

正常工作溫度在30-70°C左右。

進水加熱用汽水板式熱交換器。

（2）功率：45KW

2、可移動高壓清洗機:（DIG200/20EM-D）

（1）工作壓力：可調范圍為0-200 bar 

最大流量：20L/min（要求設備供水量不小于30L/min）；

正常工作溫度在10-45°C左右。

（2） 功率：7.5KW

3、熱風烘干裝置

配置高壓高溫漩渦風機+3級空氣過濾器（過濾精度≦0.1-1um）?？諝鉂崈舳龋?-10萬級）；空氣流量約3000-5000Nm3/h；可以根據現場情況配備電加熱器或蒸汽熱交換器，加熱空氣溫度自動控制，常溫至80°C。

4、360度無死角三維清洗器

清洗工作壓力：100-300bar ，可調范圍為20-300bar

最大流量：50-200L/min

清洗方式：360度全方位無死角清洗。

二、工藝流程

還原爐爐筒吊裝、定位——脫鹽水預清洗——氫氧化鈉（氟化氫銨溶液）熱水清洗 ——高純水（脫鹽水）水漂洗  ——純凈空氣熱風烘干 ——純凈空氣常溫干燥——還原爐爐筒吊出 ——還原爐清洗流程完成。